采用新型原子层沉积(ALD)技术下一代高效太阳能电池

12月5日,全球领先的薄膜沉积和蚀刻设备制造商江苏微导纳米装备科技有限公司和澳大利亚新南威尔士大学宣布联合开发采用新型原子层沉积(ALD)技术的下一代高效太阳能电池。这项工作是在“新型原子级表面调控及接触钝化层工艺在先进高效晶硅太阳能电池的应用”的ARENA项目下展开的。先导集团董事长王燕清先生，微导CTO黎微明博士，新南威尔士大学知识转移中心主任WarwickDawson先生，工程学院院长MarkHoffman教授，光伏和可再生能源学院BramHoex教授共同见证了签字仪式。

光伏产业目前正在全面转向由新南威尔士大学在80年代后期开发的具有技术优势的PERC路线。新南威尔士大学项目负责人BramHoex教授说：“与现有技术相比，PERC太阳能电池的主要优势在于超薄薄膜的应用减少了硅太阳能电池背面非接触区域的电子损耗。

业界普遍认为下一个技术节点将采用所谓的“钝化接触”，可同时降低电子和阻抗损耗。此类钝化接触层通常由超薄薄膜组合而成，因此我们认为纳米级薄膜将在太阳能电池中发挥越来越重要的作用。ALD技术可在原子层水平上控制薄膜的生长，是这类接触技术的理想选择。”在这个项目中，微导将向新南威尔士大学捐赠一个中试规模的ALD反应器，该反应器将安装在位于肯辛顿校区的太阳能工业研究中心(SIRF)。

Hoex教授说：“我们拥有了这个高产能ALD设备后，将能够快速地将实验室工艺转换成为太阳能电池器件并进行性能测试，进而使得微导的客户能够快速地将其用于大批量生产。”新南威尔士大学工程学院院长MarkHoffman教授指出：“新南威尔士大学在光伏研究和开发方面处于世界领先地位，我很高兴微导选择与我们合作。我们将一起推动太阳能电池技术更高的转换效率。研发人员和产业界之间的合作可以帮助最新研发器件在工业量产之前进行验证，这对于推动研发成果实现经济效益至关重要。我感谢江苏微导的支持，并期待双方合作的成果。”

微导首席技术官黎微明博士说：“微导拥有自主知识产权的ALD技术已成为基于钝化接触技术高效太阳能电池大规模生产的主流选择。我们很高兴与世界领先的新南威尔士大学太阳能研究中心合作，率先开发用于下一代转换效率超过的25%晶硅太阳能电池制造的ALD技术。”先导集团董事长王燕清先生指出：“在过去两年中，微导凭借领先的ALD技术为全球太阳能行业做出了贡献，该技术在显著降低成本的同时实现了更高的效率。作为一个中国公司，微导致力于成为先进技术创新和国产化的典范。我很高兴看到微导与新南威尔士大学世界领先的研究机构合作，共同开发高效太阳能电池的新技术，利用可再生能源为我们创造清洁世界的努力做出贡献。”

关于新南威尔士大学

新南威尔士大学(UNSW)是一所位于悉尼郊区肯辛顿的澳大利亚公立研究型大学。它成立于1949年，根据2018年QS世界大学排名，在澳大利亚排名第4，在世界排名第45，在新南威尔士排名第2。新南威尔士大学在四十多年的光伏技术领域一直处于全球领先地位。

关于江苏微导

江苏微导纳米装备科技有限公司是一家面向全球的高端设备制造商，专注于先进薄膜沉积和刻蚀装备的开发、设计、生产和服务。微导的业务涵盖新能源、柔性电子、半导体和纳米技术等工业领域。